半导体、封装行业超纯水系统--湖北灵坦机电设备有限公司

电阻率18.25MΩ·cm被认为是超纯水的最佳理论水质指标。随着微电子产业的发展，仅用这一项指标来衡量超纯水是远远不够的。超纯水中的微粒、TOC、溶解氧、二氧化硅、细菌及其它PPT级的金属离子，成为影响微电子产业及其他产业产品质量及产品良率的主要因素。

半导体行业典型的工艺流程

美国ASTM电子半导体行业超纯水的水质标准

Parameter	Type E-1	Type E-1.1	Type E-1.2
Linewidth(microns)	1.0-0.5	0.5-0.25	0.25-0.18
Resistivity,25℃	18.2	18.2	18.2
*Temperature
*Pressure
Endotoxin unit(EU/ml)	0.03	0.03	0.03
TOC(μg/L)	5	2	1
Dissolved oxygen(μg/L)	1	1	1
Residue after evaporation(μg/L)	1	0.5	0.1
SEM particles/L(micron range)
0.1-0.2	1000	1000	200
0.2-0.5	500	500	100
0.5-0.1	50	50	1
10	-		-
On-line particles/L(micron range)
Particles(>0.05micron)
0.05-0.1	500	500	100
0.1-0.2	300	300	50
0.2-0.3	50	50	20
0.3-0.5	20	20	10
>0.5	4	4	1
Bacteria/100 mL
100ml Sample	1	1	1
1L Sample	1	1	0.1
Silica

Silica-total(μg/L)	3	0.5	0.5
Silica-dissolved(μg/L)	1	0.1	0.05
lons and metals(μg/L)
Ammonium	0.1	0.10	0.05
Bromide	0.1	0.05	0.02
Chloride	0.1	0.05	0.02
Fluoride	0.1	0.05	0.03
Nitrate	0.1	0.05	0.02
Nitrite	0.1	0.05	0.02
Phosphate	0.1	0.05	0.02
Sulfate	0.1	0.05	0.02
Aluminum	0.05	0.02	0.005
Barium	0.05	0.02	0.001
Boron	0.05	0.02	0.005
Calcium	0.05	0.02	0.002
Chromium	0.05	0.02	0.002
Copper	0.05	0.02	0.002
Iron	0.05	0.02	0.002
Lead	0.05	0.02	0.005
Lithium	0.05	0.02	0.003
Magnesium	0.05	0.02	0.002
Manganese	0.05	0.02	0.002
Nicke	0.05	0.02	0.002
Potassium	0.05	0.02	0.005
Sodium	0.05	0.02	0.005
Strontium	0.05	0.02	0.001
Zinc	0.05	0.02	0.002

*Temperature and pressure values to be determined

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